Preview

Журнал прикладной спектроскопии

Расширенный поиск
Доступ открыт Открытый доступ  Доступ закрыт Только для подписчиков

Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных оксидом марганца и полученных методом лазерного осаждения

Полный текст:

Аннотация

Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~10—15 кГц лазерного воздействия с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 150 МВт/см2 на керамику из оксида цинка, легированного оксидом марганцем, получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке при давлении в вакуумной камере p = 2.7 Па. Изучены морфология поверхности и элементный состав полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального микроанализа. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+2% MnO2/Si.

Об авторах

Н. А. Босак
Институт физики, НАН Беларуси
Беларусь

220072, Минск



А. Н. Чумаков
Институт физики, НАН Беларуси
Беларусь

220072, Минск



А. А. Шевченок
Белорусский национальный технический университет
Беларусь

220013, Минск



Л. В. Баран
Белорусский государственный университет
Беларусь

220030, Минск



А. Г. Кароза
Институт физики, НАН Беларуси
Беларусь

220072, Минск



В. В. Малютина-Бронская
Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника, ГНПО
Беларусь

220072, Минск



А. А. Иванов
Институт физики, НАН Беларуси
Беларусь

220072, Минск



Список литературы

1. X. Yu, T. J. Marks, A. Facchetti. Nat. Mater. Rev., 15 (2016) 383—396

2. Т. В. Семикина, В. Н. Комащенко, Л. Н. Шмырева. Электроника и связь, № 3 (2010) 20—28

3. C. Woll. Prog. Surf. Sci., 82 (2007) 55—120

4. A. B. Djurisic, A. M. C. Ng, X. Y. Chen. Prog. Quant. Electron., 34 (2010) 191—259

5. N. Qin, Q. H. Xiang, Zhao, J. Zhang, J. Xu. Cryst. Eng. Comm., 16 (2014) 7062—7073

6. В. Н. Зима, А. Г. Козлов, Т. Н. Танская. Вест. Омского ун-та, № 2 (2013) 75—79

7. Н. П. Клочко, Ю. А. Мягченко, Е. Е. Мельничук, В. Р. Копач, Е. С. Клепикова, В. Н. Любов, Г. С. Хрипунов, А. В. Копач. ФТП, 47, № 8 (2013) 1129—1136

8. N. Tarasenka, A. Butsen, V. Pankov, T. Velusamy, D. Mariotti, N. Tarasenko. Nano-Structures & Nano-Objects, 12 (2017) 210—219

9. Т. В. Семикина. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, № 51 (2016) 150—157

10. А. Н. Чумаков, А. В. Гулай, А. А. Шевчёнок, Т. Ф. Райченок, А. Г. Кароза, А. С. Мацукович, Н. А. Босак, В. А. Гулай. Электроника-инфо, № 2 (2016) 32—37

11. Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484

12. Б. Б. Страумал, С. Г. Протасова, А. А. Мазилкин, Г. Шютц, Э. Гёринг, Б. Барецки, П. Б. Страумал. Письма в ЖЭТФ, 97, № 11, вып. 6 (2013) 415—426

13. В. Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии, Москва, Техносфера (2004)

14. A. M. Hashem, H. M. Abuzeid, A. M. Abdel-Latif, H. M. Аbbas, H. Ehrenberg, S. Indris, A. Mauger, H. Groult, C. M Julien. ECS Transact., 50 (2013) 125—130

15. S. S. Shinde, P. S. Shinde, R. T. Sapkal, Y. W. Oh, D. Haranath, C. H. Bhosale, K. Y. Rajpure. J. Alloy. Compd., 538 (2012) 237—243

16. В. В. Малютина-Бронская, В. Б. Залесский, Т. Р. Леонова. Докл. БГУИР, № 6 (2011) 39—43

17. P. Popielarski, W. Bala, K. Paprocki. Solid State Phenom., 200 (2013) 27—32

18. G. Chatzigiannakis, A. Jaros, R. Leturcq, J. Jungclaus, T. Voss, S. Gardelis, M. Kandyla. ACS Appl. Electron. Mater., 2, N 9 (2020) 2819—2828


Рецензия

Для цитирования:


Босак Н.А., Чумаков А.Н., Шевченок А.А., Баран Л.В., Кароза А.Г., Малютина-Бронская В.В., Иванов А.А. Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных оксидом марганца и полученных методом лазерного осаждения. Журнал прикладной спектроскопии. 2021;88(2):221-226.

For citation:


Bosak N.A., Chumakov A.N., Shevchenok A.A., Baran L.V., Karoza A.G., Malutina-Bronskaya V.V., Ivanov A.A. Optical and Electrophysical Properties of Doped with Manganese Thin Zinc Oxide Films Obtained by Laser Deposition Method. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2021;88(2):221-226. (In Russ.)

Просмотров: 74


ISSN 0514-7506 (Print)