Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных оксидом марганца и полученных методом лазерного осаждения

Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~10—15 кГц лазерного воздействия с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 150 МВт/см² на керамику из оксида цинка, легированного оксидом марганцем, получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке при давлении в вакуумной камере p = 2.7 Па. Изучены морфология поверхности и элементный состав полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального микроанализа. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+2% MnO₂/Si.

1. X. Yu, T. J. Marks, A. Facchetti. Nat. Mater. Rev., 15 (2016) 383—396

2. Т. В. Семикина, В. Н. Комащенко, Л. Н. Шмырева. Электроника и связь, № 3 (2010) 20—28

3. C. Woll. Prog. Surf. Sci., 82 (2007) 55—120

4. A. B. Djurisic, A. M. C. Ng, X. Y. Chen. Prog. Quant. Electron., 34 (2010) 191—259

5. N. Qin, Q. H. Xiang, Zhao, J. Zhang, J. Xu. Cryst. Eng. Comm., 16 (2014) 7062—7073

6. В. Н. Зима, А. Г. Козлов, Т. Н. Танская. Вест. Омского ун-та, № 2 (2013) 75—79

7. Н. П. Клочко, Ю. А. Мягченко, Е. Е. Мельничук, В. Р. Копач, Е. С. Клепикова, В. Н. Любов, Г. С. Хрипунов, А. В. Копач. ФТП, 47, № 8 (2013) 1129—1136

8. N. Tarasenka, A. Butsen, V. Pankov, T. Velusamy, D. Mariotti, N. Tarasenko. Nano-Structures & Nano-Objects, 12 (2017) 210—219

9. Т. В. Семикина. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, № 51 (2016) 150—157

10. А. Н. Чумаков, А. В. Гулай, А. А. Шевчёнок, Т. Ф. Райченок, А. Г. Кароза, А. С. Мацукович, Н. А. Босак, В. А. Гулай. Электроника-инфо, № 2 (2016) 32—37

11. Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484

12. Б. Б. Страумал, С. Г. Протасова, А. А. Мазилкин, Г. Шютц, Э. Гёринг, Б. Барецки, П. Б. Страумал. Письма в ЖЭТФ, 97, № 11, вып. 6 (2013) 415—426

13. В. Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии, Москва, Техносфера (2004)

14. A. M. Hashem, H. M. Abuzeid, A. M. Abdel-Latif, H. M. Аbbas, H. Ehrenberg, S. Indris, A. Mauger, H. Groult, C. M Julien. ECS Transact., 50 (2013) 125—130

15. S. S. Shinde, P. S. Shinde, R. T. Sapkal, Y. W. Oh, D. Haranath, C. H. Bhosale, K. Y. Rajpure. J. Alloy. Compd., 538 (2012) 237—243

16. В. В. Малютина-Бронская, В. Б. Залесский, Т. Р. Леонова. Докл. БГУИР, № 6 (2011) 39—43

17. P. Popielarski, W. Bala, K. Paprocki. Solid State Phenom., 200 (2013) 27—32

18. G. Chatzigiannakis, A. Jaros, R. Leturcq, J. Jungclaus, T. Voss, S. Gardelis, M. Kandyla. ACS Appl. Electron. Mater., 2, N 9 (2020) 2819—2828