Для цитирования:

Chang Y., Wu P., Jhuang J., Huang C. Оптико-эмиссионный анализ химического осаждения из паровой фазы плазмы метана атмосферного давления. Журнал прикладной спектроскопии. 2021;88(5):819(1)-819(9).

For citation:

Chang Y., Wu P., Jhuang J., Huang C. Optical Emission Analysis of Atmospheric Pressure Methane Plasma Chemical Vapor Deposition. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2021;88(5):819(1)-819(9).