Исследование изотопного состава и чистоты алмазных CVD-слоев, обогащенных изотопом ¹³С, методами спектроскопии комбинационного рассеяния света и фотолюминесценции

Представлена методика оценки изотопного состава и концентрации NV-центров в алмазе с применением спектров комбинационного рассеяния света и фотолюминесценции. С помощью предложенной методики изучено пространственное распределение изотопа ¹³С и NV-центров в образцах CVD-алмаза c изотопно-модифицированными слоями.

1. A. V. Tsukanov. Russ. Microelectronics, 41, N 2 (2012) 91—106

2. A. T. Collins, G. Davies, H. Kanda, G. S. Woods. J. Phys. C: Solid State Physics, 21 (1988) 1363—1376

3. M. Pompili, S. L. N. Hermans, S. Baier, H. K. C. Beukers, P. C. Humphreys, R. N. Schouten, R. F. L. Vermeulen, M. J. Tiggelman, L. dos Santos Martins, B. Dirkse, S. Wehner, R. Hanson. Science, 372 (2021) 259—264

4. A. P. Nizovtsev, S. Y. Kilin, A. L. Pushkarchuk, V. A. Pushkarchuk, F. Jelezko. New J. Phys., 16, N 8 (2014) 083014

5. S. D. Trofimov, S. A. Tarelkin, S. V. Bolshedvorskii, V. S. Bormashov, S. Yu. Troshchiev, A. V. Golovanov, N. V. Luparev, D. D. Prikhodko, K. N. Boldyrev, S. A. Terentiev, A. V. Akimov, N. I. Kargin, N. S. Kukin, A. S. Gusev, A. A. Shemukhin, Y. V. Balakshin, S. G. Buga, V. D. Blank. Opt. Mater. Express, 198, N 10 (2020) 198

6. С. А. Тарелкин, С. В. Большедворский, С. Г. Буга, Т. Е. Дроздова, А. С. Галкин, В. Г. Винс, С. А. Носухин, М. С. Кузнецов, Д. Д. Приходько, В. С. Щербакова, Ж. Лиу, Х. Куо, М. Яо. Рос. нанотехнологии, 17 (2022) 565—568

7. S. Bolshedvorskii, S. Bogdanov, A. Zeleneev, V. Soshenko, O. Rubinas, D. Radishev, M. Lobaev, A. Vikharev, A. Gorbachev, A. Smolyaninov, V. Sorokin, A. Akimov. AIP Conf. Proc., 2241 (2020) 1—6

8. A. M. Zaitsev. Optical Properties оf Diamond: A Data Handbook, Springer Science & Business Media (2013) 27—60

9. S. T. Alsid, J. F. Barry, L. M. Pham, J. M. Schloss, M. F. O’Keeffe, P. Cappellaro, D. A. Braje. Phys. Rev. Appl., 12 (2019) 044003

10. P. V. Enkovich, V. V. Brazhkin, S. G. Lyapin, A. P. Novikov, H. Kanda, S. M. Stishov. J. Exp. Theor. Phys., 123 (2016) 443—451

11. V. Sedov, K. Boldyrev, V. Krivobok, S. Nikolaev, A. Bolshakov, A. Khomich, A. Khomich, A. Krasilnikov, V. Ralchenko. Physica Status Solidi (a), 214, N 11 (2017) 1700198

12. V.Buschmann,B.Kramer,F.Koberling, R.Macdonald, S.Ruttinger. Quantitative FCS, 200,N1 (2009)8

13. V. Kopachevsky, S. Shashkov, A. Gvozdev. Analitika, 1 (2014) 44—48

14. M. Nissum, E. Shabanova, O. F. Nielsen. J. Chem. Educ., 77 (2000) 633