Preview

Журнал прикладной спектроскопии

Расширенный поиск
Доступ открыт Открытый доступ  Доступ закрыт Только для подписчиков

УЧЕТ ВЗАИМНОГО ВЛИЯНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОМ АНАЛИЗЕ ТОНКИХ ДВУХСЛОЙНЫХ Ti/V-СИСТЕМ

Полный текст:

Аннотация

Предложен новый способ определения толщины слоев при рентгенофлуоресцентном анализе двухслойных систем Ti/V с использованием простых в изготовлении унифицированных пленочных слоев, получаемых напылением титана на подложку из пленки полимера. Рассчитаны поправочные коэффициенты, учитывающие уровень ослабления интенсивности первичного излучения рентгеновской трубки и аналитической линии элемента нижнего слоя в верхнем слое и усиления интенсивности флуоресценции верхнего слоя излучением атомов нижнего.

Об авторах

Н. И. Машин
Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Россия


А. Г. Разуваев
Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Россия


Е. А. Черняева
Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Россия


Л. М. Гафарова
Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Россия


А. В. Ершов
Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Россия


Список литературы

1. Ю. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15, № 2 (2011) 126-140

2. В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков, Г. М. Туровская. Журн. аналит. химии, 34, № 1 (1979) 138-141

3. B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta. B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130-133

4. P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72-75

5. K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Mannien, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354-359

6. В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 571-577

7. Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И. Машин. Зав. лаб., 56, № 12 (1990) 34-36

8. Е. Е. Беляева, А. В. Ершов, А. И. Машин, Н. И. Машин, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 638-640 [E. E. Belyaeva, A. V. Ershov, A. I. Mashin, N. I. Mashin, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 53 (1998) 561-563]

9. Н. И. Машин, А. Н. Туманова, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 56, № 6 (2001) 651-654 [N. I. Mashin, A. N. Tumanova, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 56 (2001) 581-584]

10. Н. И. Машин, Р. В. Лебедева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 328-332 [N. I. Mashin, R. V. Lebedeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 307-311]

11. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49, № 4 (2013) 372-375

12. K. Hirokava, M. Suzuki, H Gotô. Z. Аnal. Chem., 199, N 2 (1964) 89-94

13. H. Dahl, G. Schulz. Z. Angew. Phys., 29, N 2 (1970) 117-121

14. С. Л. Дудик, Б. Д. Калинин, Р. И. Плотников, С. К. Савельев. Аналитика и контроль, 10, № 3-4 (2006) 282-289

15. В. Я. Борходоев. Аналитика и контроль, 19, № 1 (2015) 40-44

16. Ш. И. Дуймакаев, М. В. Потькало. Аналитика и контроль, 20, № 1 (2016) 23-33

17. Г. А. Бордовский, А. В. Марченко, П. П. Скрегин, Н. Н. Смирнова, Е. И. Теруков. Письма в ЖТФ, 35, № 22 (2009) 15-22

18. M. West, A. T. Ellis, P. J. Potts, C. Streli, C. Vanhoof, P. Wobrauschek. J. Anal. At. Spectrom., 30 (2015) 1874-1877

19. В. Р. Дарашкевич, Н. А. Калинина, Б. А. Малюков, Ю. М. Украинский, С. П. Селиванова. Зав. лаб., 37, № 12 (1971) 1449-1452

20. Ф. Е. Наумцев, В. Ф. Волков, Н. Ф. Лосев. Зав. лаб., 54, № 4 (1988) 30-33

21. Н. И. Машин, А. Г. Разуваев, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 80, № 1 (2013) 5-11 [N. I. Mashin, A. G. Razuvaev, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 80 (2013) 1-7]

22. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, Л. М. Гафарова. Журн. прикл. спектр., 83 (2016) 65-69 [N. I. Mashin, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, L. M. Gafarova. J. Appl. Spectr., 83 (2016) 56-60]

23. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова. Неорг. матер., 51, № 1 (2015) 44-48

24. В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128-129

25. А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84-86


Для цитирования:


Машин Н.И., Разуваев А.Г., Черняева Е.А., Гафарова Л.М., Ершов А.В. УЧЕТ ВЗАИМНОГО ВЛИЯНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОМ АНАЛИЗЕ ТОНКИХ ДВУХСЛОЙНЫХ Ti/V-СИСТЕМ. Журнал прикладной спектроскопии. 2018;85(1):100-107.

For citation:


Mashin N.I., Razuvaev A.G., Cherniaeva E.A., Gafarova L.M., Ershov A.V. ACCOUNT OF THE MUTUAL INFLUENCE OF ELEMENTS IN THE X-RAY FLUORESCENCE ANALYSIS OF THIN TWO-LAYER Ti/V-SYSTEMS. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2018;85(1):100-107. (In Russ.)

Просмотров: 68


ISSN 0514-7506 (Print)