Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства полученных методом лазерного осаждения пленок оксида цинка, легированного кобальтом

Представлены результаты комплексного исследования тонких пленок оксида цинка ZnO+15%Co, осажденных в вакууме (p = 2.2 ⋅10^–2 мм рт. ст.) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f ∼ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень с плотностью мощности лазерного излучения q = 81 МВт/см². Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры ZnO+15%Co/Si.

1. Р. K. Shanna, R. K. Dutta, А. С. Pandey, S. Layek, H. C. Venna. J. Magn. Magn. Mater, 321 (2009) 2587-2591

2. J. H. Kim, H. Kim, D. Kim, Y. E. Hun, W. K. Choo. J. Appl. Phys., 92 (2002) 6066-6071

3. Z. H. Zhang, X. F. Wang, J. B. Xu, S. Muller, C. Ronning, Q. Li. Nature Nanotechnology, 4, N 8 (2009) 523-527

4. В. Г. Кытин, В. А. Кульбачинский, Д. С. Глебов, Л. И. Бурова, А. Р. Кауль, О. В. Реукова. ФТП, 44, № 2 (2010) 164-169

5. Б. Б. Страумал, С. Г. Протасова, А. А. Мазилкин, Г. Шютц, Э. Гёринг, Б. Барецки, П. Б. Страумал. Письма в ЖЭТФ, 97, № 6 (2013) 415-426

6. J. Lu, H. Wang. Opt. Express, 20, N 19 (2012) 21552-21557

7. Х. Т. Игамбердиев, Ш. У. Юлдашев, T. W. Kang, В. О. Пеленович, Ш. М. Рахимова, Т. Х. Ахмедов. ФТТ, 54, № 10 (2012) 1835-1838

8. Н. И. Мухуров, С. В. Денисюк, А. Н. Чумаков, А. А. Шевченок, Л. В. Баран, А. Г. Кароза, Т. Ф. Райченок, Н. А. Босак, А. А. Иванов, Х. Чжан. Докл. БГУИР, 119, № 1 (2019) 91-98

9. S. Karamat, R. S. Rawat, P. Lee, T. L. Tan. J. Phys.: Conf. Ser., 200 (2010) 072045(1-5)

10. M. V. Vuichyk, Z. F. Tsybrii, S. R. Lavoryk, K. V. Svezhentsova, I. S. Virt, A. Chizhov. Semicond. Physics, Quantum Electron. Optoelectron., 17, N 1 (2014) 80-84

11. B. Cieniek, I. Stefaniuk, I. Virt. Nukleonika, 58, N 3 (2013) 359-363

12. G. Li Wang, Xue-qiong Su, Yi Lu, Jiang-bo Chen. Proc. SPIE, 8904 (2013) 890402(1-6)

13. Fahrettin Yakuphanoglu. J. Alloys Compd., 494 (2010) 451-455

14. Guojian Li, Huimin Wang, Qiang Wang, Yue Zhao, Zhen Wang, Jiaojiao Du, Yonghui Ma. Nanoscale Res. Lett., 10 (2015) 112(1-8)

15. Xiaoli Li, Yana Shi, Jie Li, Yuhao Bai, Juan Jia, Yanchun Li, Xiaohong Xu. Mater. Res. Express, 4 (2017) 036407(1-6)

16. R. Siddheswaran, R. Medln, C. Esther Jeyanthi, S. Gokul Raj, R. V. Mangalaraja. Appl. Phys. A, Mater. Sci. Proc., 125 (2019) 592(1-9)

17. А. Н. Чумаков, В. Б. Авраменко, Н. А. Босак. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 279-287