УЧЕТ ВЗАИМНОГО ВЛИЯНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОМ АНАЛИЗЕ ТОНКИХ ДВУХСЛОЙНЫХ Ti/V-СИСТЕМ

Предложен новый способ определения толщины слоев при рентгенофлуоресцентном анализе двухслойных систем Ti/V с использованием простых в изготовлении унифицированных пленочных слоев, получаемых напылением титана на подложку из пленки полимера. Рассчитаны поправочные коэффициенты, учитывающие уровень ослабления интенсивности первичного излучения рентгеновской трубки и аналитической линии элемента нижнего слоя в верхнем слое и усиления интенсивности флуоресценции верхнего слоя излучением атомов нижнего.

рентгенофлуоресцентный анализ, тонкая двухслойная пленка, поправочный коэффициент, массовый коэффициент поглощения, подложка из пленки полимера, X-ray fluorescence analysis, thin two-layer film, correction coefficient, absorption coefficient, polymer substrate

1. Ю. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15, № 2 (2011) 126-140

2. В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков, Г. М. Туровская. Журн. аналит. химии, 34, № 1 (1979) 138-141

3. B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta. B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130-133

4. P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72-75

5. K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Mannien, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354-359

6. В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 571-577

7. Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И. Машин. Зав. лаб., 56, № 12 (1990) 34-36

8. Е. Е. Беляева, А. В. Ершов, А. И. Машин, Н. И. Машин, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 638-640 [E. E. Belyaeva, A. V. Ershov, A. I. Mashin, N. I. Mashin, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 53 (1998) 561-563]

9. Н. И. Машин, А. Н. Туманова, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 56, № 6 (2001) 651-654 [N. I. Mashin, A. N. Tumanova, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 56 (2001) 581-584]

10. Н. И. Машин, Р. В. Лебедева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 328-332 [N. I. Mashin, R. V. Lebedeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 307-311]

11. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49, № 4 (2013) 372-375

12. K. Hirokava, M. Suzuki, H Gotô. Z. Аnal. Chem., 199, N 2 (1964) 89-94

13. H. Dahl, G. Schulz. Z. Angew. Phys., 29, N 2 (1970) 117-121

14. С. Л. Дудик, Б. Д. Калинин, Р. И. Плотников, С. К. Савельев. Аналитика и контроль, 10, № 3-4 (2006) 282-289

15. В. Я. Борходоев. Аналитика и контроль, 19, № 1 (2015) 40-44

16. Ш. И. Дуймакаев, М. В. Потькало. Аналитика и контроль, 20, № 1 (2016) 23-33

17. Г. А. Бордовский, А. В. Марченко, П. П. Скрегин, Н. Н. Смирнова, Е. И. Теруков. Письма в ЖТФ, 35, № 22 (2009) 15-22

18. M. West, A. T. Ellis, P. J. Potts, C. Streli, C. Vanhoof, P. Wobrauschek. J. Anal. At. Spectrom., 30 (2015) 1874-1877

19. В. Р. Дарашкевич, Н. А. Калинина, Б. А. Малюков, Ю. М. Украинский, С. П. Селиванова. Зав. лаб., 37, № 12 (1971) 1449-1452

20. Ф. Е. Наумцев, В. Ф. Волков, Н. Ф. Лосев. Зав. лаб., 54, № 4 (1988) 30-33

21. Н. И. Машин, А. Г. Разуваев, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 80, № 1 (2013) 5-11 [N. I. Mashin, A. G. Razuvaev, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 80 (2013) 1-7]

22. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, Л. М. Гафарова. Журн. прикл. спектр., 83 (2016) 65-69 [N. I. Mashin, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, L. M. Gafarova. J. Appl. Spectr., 83 (2016) 56-60]

23. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова. Неорг. матер., 51, № 1 (2015) 44-48

24. В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128-129

25. А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84-86