Для цитирования:

Базаров В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Лядов Н.М. АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ КИСЛОРОДА И ГЕЛИЯ, МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ. Журнал прикладной спектроскопии. 2019;86(1):151-154.

For citation:

Bazarov V.V., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Lyadov N.M. SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY STUDY OF SILICON SURFACE IMPLANTED BY THE OXYGEN AND HELIUM IONS. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2019;86(1):151-154. (In Russ.)