МЕХАНИЗМ АДГЕЗИОННОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА С МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИМ КРЕМНИЕМ

спектр нарушенного полного внутреннего отражения, диазохинон-новолачный фоторезист, имплантация, адгезия, кремний

1. A. Kondyurin, M. Bilek. Ion Beam Treatment of Polymers: Application Aspects from Medicine to Space, Elsevier (2015)

2. R. J. Composto, R. M. Walters, J. Genze. Mater. Sci Eng.: R: Rep., 38, N 3-4 (2002) 107—180

3. А. Н. Доронин, А. П. Тютнев, В. С. Саенко, Е. Д. Пожидаев. Перспект. материалы, № 2 (2001) 15—22

4. У. Моро. Микролитография. Принципы, методы, материалы, в 2-х ч., Москва, Мир (1990) [W. M. Moreau. Semiconductor Lithography. Principles, Practices and Мaterials, New York, London, Plenum Press (1988)]

5. Roy Debmalya, P. K. Basu, P. Raghunathan, S. V. Eswaran. Magn. Res. Chem., 41 (2003) 84—90

6. В. И. Лебедев, В. Е. Котомина, С. В. Зеленцов, Е. С. Леонов, К. В. Сидоренко. Вестн. Нижегород. ун-та. Химия, № 1 (2014) 178—182

7. J. S. Martins, D. G. A. L. Borges, R. C. Machado, A. G. Carpanez, R. M. Grazul, F. Zappa, W. S. Melo, M. L. M. Rocco, R. R. Pinho, C. R. A. Lima. Eur. Polym. J., 59 (2014) 1—7

8. Д. И. Бринкевич, А. А. Харченко, С. Д. Бринкевич, М. Г. Лукашевич, В. Б. Оджаев, В. Ф. Валеев, В. И. Нуждин, Р. И. Хайбуллин. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., № 8 (2017) 25—30

9. Д. И. Бринкевич, А. А. Харченко, В. С. Просолович, В. Б. Оджаев, С. Д. Бринкевич, Ю. Н. Янковский. Микроэлектроника, 48, № 3 (2019) 235—239

10. С. А. Вабищевич, С. Д. Бринкевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович. Химия высоких энергий, 54, № 1 (2020) 54—59

11. Ю. Беккер. Спектроскопия, Москва, Техносфера (2009) [J. Bocker. Spektroskopie. Vogel Industrie Medien GmbH & Co KG. Wurzburg (1997)]

12. Д. И. Бринкевич, С. Д. Бринкевич, Н. В. Вабищевич, В. Б. Оджаев, В. С. Просолович. Микроэлектроника, 43, № 3 (2014) 193—199

13. R. D. Priestley, C. J. Ellison, L. J. Broadbelt, J. M. Torkelson. Science, 309, N 5733 (2005) 456—459

14. Б. Н. Тарасевич. ИК спектры основных классов органических соединений. Справочные материалы, Москва, МГУ (2012)

15. Э. Преч, Ф. Бюльманн, К. Аффольтер. Определение строения органических соединений. Таблицы спектральных данных, Москва, Мир, Бином (2006)

16. Lu Xiaolin, Mi Yongli. Macromolecules, 38, N 3 (2005) 839—843

17. В. С. Просолович, Д. И. Бринкевич, С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, Ю. Н. Янковский. Матер. 13 междунар. конф. “Взаимодействие излучений с твердым телом”, Минск, 30.09—3.10.2019, Минск, Изд. центр БГУ (2019) 169—171

18. J. Hanisch, K. Hinrichs, J. Rappich. ACS Appl. Matter. Interfaces, 11, N 34 (2019) 31434—31440