Оптические характеристики отожженных пленок титаната бария, сформированных золь-гель методом
Аннотация
Методами спектрофотометрии и спектроэллипсометрии в области полос собственного поглощения исследованы золь-гель пленки титаната бария на кварцевых подложках, отожженные при температурах 450, 600 и 700 оC. Оценены толщины пленок и переходных слоев на границах пленка-воздух и пленка-подложка. Установлено, что повышение температуры отжига приводит к уменьшению ширины запрещенной зоны материала, пористости и толщины пленок, а также к увеличению их показателей преломления и поглощения. Спектральные зависимости показателей преломления и поглощения пленок интерполированы новыми дисперсионными формулами для аморфных материалов.
Ключевые слова
оптические характеристики золь-гель пленок BaTiO3,
дисперсионные формулы,
обратные оптические задачи,
спектральная эллипсометрия,
спектрофотометрия,
тонкие пленки на подложках конечной толщины
При поддержке: Работа выполнена при поддержке ГПНИ РБ №20200132 от 27.01.2020.
Для цитирования:
Стаськов Н.И., Сотский А.Б., Михеев С.С., Гапоненко Н.В., Холов П.А., Райченок Т.Ф. Оптические характеристики отожженных пленок титаната бария, сформированных золь-гель методом. Журнал прикладной спектроскопии. 2020;87(6):918-925.
For citation:
Staskov N.I., Sotsky A.B., Miheev S.S., Gaponenko N.V., Kholov P.A., Raichenok T.F. Optical characteristics of annealed barium titanate films formed by the sol-gel method. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2020;87(6):918-925. (In Russ.)
Просмотров: 414
Послать статью по эл. почте 