Для цитирования:

Бринкевич С.Д., Бринкевич Д.И., Просолович В.С., Ластовский С.Б., Петлицкий А.Н. Спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста. Журнал прикладной спектроскопии. 2020;87(6):941-948.

For citation:

Brinkevich S.D., Brinkevich D.I., Prosolovich V.S., Lastovskii S.B., Pyatlitski A.N. Frustrated total internal reflection spectra of diazoquinone-novolac photoresist films. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2020;87(6):941-948. (In Russ.)