Preview

Журнал прикладной спектроскопии

Расширенный поиск
Доступ открыт Открытый доступ  Доступ закрыт Только для подписчиков

Метод количественного измерения латерального разрешения конфокального КР-микроскопа

Полный текст:

Аннотация

Предложен метод проверки латерального разрешения конфокального КР-микроскопа (CRM) на основе калибровочной таблицы разрешения. Мишень для тестового изображения состояла из полированной кремниевой подложки, покрытой тонким металлическим рисунком, который обеспечивал высокий контраст и незначительные краевые эффекты. Использование мишени с одним стержнем вместо обычной мишени с тремя стержнями позволило количественно измерить латеральное разрешение CRM. Одностержневые мишени различной ширины использовались для тестирования CRM с номинальным поперечным разрешением ~1 мкм. С помощью теоретической модели изучен отклик CRM на мишень из одного стержня и исследована взаимосвязь между контрастом Майкельсона функции отклика и латеральным разрешением. Предлагаемый метод проверки латерального разрешения имеет относительную повторяемость 5.6 %, что идеально для контроля разрешения. Экспериментальные результаты демонстрируют отличное согласие с результатами моделирования и подтверждают, что метод одностержневой мишени позволяет измерять латеральное разрешение CRM с высокой точностью, эффективностью и воспроизводимостью.

Об авторах

X. Ding
Национальный институт метрологии
Китай
Пекин 100029.


Y. Fu
Национальный институт метрологии
Китай
Пекин 100029.


F. Li
Национальный институт метрологии
Китай
Пекин 100029.


J. Zhang
Национальный институт метрологии
Китай
Пекин 100029.


W. Liu
Национальный институт метрологии
Китай
Пекин 100029.


Список литературы

1. A. Kudelski, Talanta, 76, 1 (2008).

2. P. Colomban, F. Treppoz, J. Raman Spectrosc., 32, 93 (2001).

3. P. J. Caspers, G. W. Lucassen, E. A. Carter, H. A. Bruining, G. J. Puppels, J. Invest. Dermatol., 116, 434 (2001).

4. T. J. Moore, A. S. Moody, T. D. Payne, G. M. Sarabia, A. R. Daniel, B. Sharma, Biosensors, 8, 46 (2018).

5. E. Lee, B. Roussel, E. Froigneux, F. Adar, S. Mamedov, A. Whitley, AIP Conf. Proc., 1267, 166 (2010).

6. http://zeiss-campus.magnet.fsu.edu/referencelibrary/pdfs/ZeissConfocalPrinciples

7. N. J. Everall, Analyst; 135, 2512 (2010).

8. D. N. Batchelder, K. J. Baldwin, Appl. Spectrosc., 55, 517 (2001).

9. J. P. Tomba, L. M. Arzondo, J. M. Pastor, Appl. Spectrosc., 61, 177 (2007).

10. R. W. Cole, T. Jinadasa, C. M. Brown, Nat. Protoc., 6, 1929 (2011).

11. F. Adar, E. Lee, S. Mamedov, A. Whitley, Spectroscopy, Special Issue, June01 (2006).

12. P. H. Tomlins, R. A. Ferguson, C. Hart, P. D. Woolliams, Point-Spread Function Phantoms for Optical Coherence Tomography, National Physical Lab. (2009).

13. A. P. Tzannes, J. M. Mooney, Opt. Eng., 34, 1808 (1995).

14. Y. Fu, X. Ding, J. Li, J. Zhang, 8th Applied Optics and Photonics China, In press.

15. J. Li, F. Cai, Y. Dong, Z. Zhu, X. Sun, H. Zhang, S. He, Opt. Commun., 392, 1 (2017).

16. T. Jan, D. Thomas, H. Olaf, Confocal Raman Microscopy, Springer International Publishing, Germany, XXIV, 596 (2018).


Для цитирования:


Ding X., Fu Y., Li F., Zhang J., Liu W. Метод количественного измерения латерального разрешения конфокального КР-микроскопа. Журнал прикладной спектроскопии. 2020;87(6):977-983.

For citation:


Ding X., Fu Y., Li F., Zhang J., Liu W. An improved target method to quantitatively measure the lateral resolution of the confocal Raman microscope. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2020;87(6):977-983.

Просмотров: 44


ISSN 0514-7506 (Print)