|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Влияние ионной имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца
Аннотация
Высокочистый плавленый кварц имплантирован ионами гелия с энергией 60 кэВ потоком 1.5×1017 см-2. Исследовано влияние имплантации ионов гелия на оптические свойства образцов кремния до и после имплантации гелия с помощью инфракрасной, фотолюминесцентной и УФ-видимой спектрофотометрии. После имплантации ионов гелия результаты рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показывают, что пик Si 2p смещен в сторону более высокой энергии. Наблюдается полоса фотолюминесценции (ФЛ) на 500 нм, при этом интенсивность ФЛзначительно снижается. Однако интенсивности ИК-излучения и оптического поглощения значительно увеличиваются при имплантации ионов. Обсуждается механизм влияния имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца.
Об авторах
M. Zhong
Авиационный инженерный институт Университета гражданской авиации Китая
Китай
Китай
Гуанхань 618307
J. H. Li
Авиационный инженерный институт Университета гражданской авиации Китая
Китай
Китай
Гуанхань 618307
B. Li
Школа физики Китайского университета электронных наук и технологий
Китай
Китай
Чэнду 610054
C. X. Tian
Школа физики Китайского университета электронных наук и технологий
Китай
Китай
Чэнду 610054
X. Xiang
Школа физики Китайского университета электронных наук и технологий
Россия
Россия
Чэнду 610054
C. Zhou
Университет гражданской авиации Китая
Китай
Китай
Гуанхань 618307
W. F. Yang
Авиационный инженерный институт Университета гражданской авиации Китая
Россия
Россия
Гуанхань 618307
Рецензия
Для цитирования:
Zhong M., Li J.H., Li B., Tian C.X., Xiang X., Zhou C., Yang W.F. Влияние ионной имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца. Журнал прикладной спектроскопии. 2021;88(2):197-201.
For citation:
Zhong M., Li J.H., Li B., Tian C.X., Xiang X., Zhou C., Yang W.F. Influence of Helium Ion Implantation on Optical Properties of Fused Silica. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2021;88(2):197-201.
Просмотров: 220
Послать статью по эл. почте 