Optical and Electrophysical Properties of Doped with Manganese Thin Zinc Oxide Films Obtained by Laser Deposition Method
Abstract
By the method of high-frequency repetitively pulsed f ~ 10-15 kHz laser action with a wavelength l = 1.064 fim and a power density q = 150 MW/cm2 on zinc oxide ceramics doped with manganese oxide at a pressure in the vacuum chamber p = 2.7 Pa there were obtained nanostructured thin films on a silicon substrate. The surface morphology and the elemental composition of the obtained films were studied using atomic force microscopy; scanning electron microscopy, and X-ray spectral microanalysis. The features of the transmission spectra in visible, near and middle IR regions are revealed. The analysis of the electrophysical properties of the ZnO+2% MnO2/Si heterostructure was carried out.
About the Authors
N. A. BosakBelarus
Minsk, 220072
A. N. Chumakov
Belarus
Minsk, 220072
A. A. Shevchenok
Belarus
Minsk, 220013
L. V. Baran
Belarus
Minsk, 220030
A. G. Karoza
Belarus
Minsk, 220072
V. V. Malutina-Bronskaya
Belarus
Minsk, 220072
A. A. Ivanov
Belarus
Minsk, 220072
References
1. X. Yu, T. J. Marks, A. Facchetti. Nat. Mater. Rev., 15 (2016) 383—396
2. Т. В. Семикина, В. Н. Комащенко, Л. Н. Шмырева. Электроника и связь, № 3 (2010) 20—28
3. C. Woll. Prog. Surf. Sci., 82 (2007) 55—120
4. A. B. Djurisic, A. M. C. Ng, X. Y. Chen. Prog. Quant. Electron., 34 (2010) 191—259
5. N. Qin, Q. H. Xiang, Zhao, J. Zhang, J. Xu. Cryst. Eng. Comm., 16 (2014) 7062—7073
6. В. Н. Зима, А. Г. Козлов, Т. Н. Танская. Вест. Омского ун-та, № 2 (2013) 75—79
7. Н. П. Клочко, Ю. А. Мягченко, Е. Е. Мельничук, В. Р. Копач, Е. С. Клепикова, В. Н. Любов, Г. С. Хрипунов, А. В. Копач. ФТП, 47, № 8 (2013) 1129—1136
8. N. Tarasenka, A. Butsen, V. Pankov, T. Velusamy, D. Mariotti, N. Tarasenko. Nano-Structures & Nano-Objects, 12 (2017) 210—219
9. Т. В. Семикина. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, № 51 (2016) 150—157
10. А. Н. Чумаков, А. В. Гулай, А. А. Шевчёнок, Т. Ф. Райченок, А. Г. Кароза, А. С. Мацукович, Н. А. Босак, В. А. Гулай. Электроника-инфо, № 2 (2016) 32—37
11. Л. Я. Минько, А. Н. Чумаков, Н. А. Босак. Квант. электрон., 17, № 11 (1990) 1480—1484
12. Б. Б. Страумал, С. Г. Протасова, А. А. Мазилкин, Г. Шютц, Э. Гёринг, Б. Барецки, П. Б. Страумал. Письма в ЖЭТФ, 97, № 11, вып. 6 (2013) 415—426
13. В. Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии, Москва, Техносфера (2004)
14. A. M. Hashem, H. M. Abuzeid, A. M. Abdel-Latif, H. M. Аbbas, H. Ehrenberg, S. Indris, A. Mauger, H. Groult, C. M Julien. ECS Transact., 50 (2013) 125—130
15. S. S. Shinde, P. S. Shinde, R. T. Sapkal, Y. W. Oh, D. Haranath, C. H. Bhosale, K. Y. Rajpure. J. Alloy. Compd., 538 (2012) 237—243
16. В. В. Малютина-Бронская, В. Б. Залесский, Т. Р. Леонова. Докл. БГУИР, № 6 (2011) 39—43
17. P. Popielarski, W. Bala, K. Paprocki. Solid State Phenom., 200 (2013) 27—32
18. G. Chatzigiannakis, A. Jaros, R. Leturcq, J. Jungclaus, T. Voss, S. Gardelis, M. Kandyla. ACS Appl. Electron. Mater., 2, N 9 (2020) 2819—2828
Review
For citations:
Bosak N.A., Chumakov A.N., Shevchenok A.A., Baran L.V., Karoza A.G., Malutina-Bronskaya V.V., Ivanov A.A. Optical and Electrophysical Properties of Doped with Manganese Thin Zinc Oxide Films Obtained by Laser Deposition Method. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2021;88(2):221-226. (In Russ.)