Метод экспресс-анализа триэтоксисилана

Описана методика проведения экспресс-анализа триэтоксисилана (TES) — основного промежуточного продукта химических реакций, протекающих в рамках силановой технологии синтеза поликристаллического кремния. Методика разработана на основе данных, полученных в результате комплексных аналитических исследований TES, с использованием хромато-масс-спектрометра MSD 5975C-GC 7890A и спектрометра InViaRaman, обеспечивающих построение градуировочного графика и проведение количественного экспресс-анализа TES с помощью InViaRaman без наличия стандартов.

1. Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Yong Kim, B. Abdurakhmanov, A. Salimboev. Method for Preparing Trialkoxysilane, Patent EP 2 754 664 (B1), Pub. Date: 28.12.2016, Bulletin 2016/52 (2016)

2. Se In Yang, Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Yong Kim, Sh. Salikhov. Method for Preparing Trialkoxysilane, Patent US9156861 B2, Pub. Date: October. 13, 2015 (2015)

3. Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Yong Kim, Kyung Kim. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent KR101532142 (B1), Pub. Date: June 26, 2015 (2015)

4. Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Taek Kim, Yong Kim, Kyung Kim, Deok Kim, Sh. Salikhov, R. Ashurov. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent EP 2 905 258 (A1), Pub. Date: August 12, 2015 Bulletin 2015 (33) (2015)

5. Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Kyung Kim, Yong Kim. A Method for Preparing Monosilane, Patent JP 6014771 (B2), Pub. Date: 2016.10.25 (2016)

6. Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Taek Joong Kim, Yong Kim, Kyung Yeol Kim, Deok Yun Kim, Sh. Salikhov, R. Ashurov. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent US9278864 (B2), Pub. Date: March 8, 2016 (2016)

7. Химическая энциклопедия, под ред. Н. С. Зефирова, Москва (1995)

8. А. Ю. Созин, В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, Т. Г. Сорочкина, А. Д. Буланов, О. Ю. Трошин, А. П. Котков, Н. Д. Гришнова, А. И. Скосырев. Журн. аналит. химии, 75, № 11 (2020), 1040—1048

9. В. Г. Бондалетов, А. А. Троян, Н. О. Кухленкова, Р. Я. Дебердеев. Вестн. Казан. технол. ун-та, 17, № 18 (2014) 21—24

10. В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, А. Ю. Созин. Масс-спектрометрия, 4, № 2 (2007) 125—130

11. P. A. Volkov, V. V. Fadeev. Method for Determination of Quantitative Content of Content of Components in Mixture, Patent RU 2352920, Pub. Date: 20.04.2009 (2009)

12. Э. Преч, Ф. Бюльманн, К. Аффольтер. Определение строения органических соединений, Москва, Мир, БИНОМ. Лаборатория знаний (2006)

13. Л. Беллами. Инфракрасные спектры сложных молекул, Москва, Иностр. лит. (1963)

14. Л. Беллами. Новые данные по ИК спектрам сложных молекул, Москва, Мир (1971)

15. К. Накамото. ИК спектры и спектры КР неорганических и координационных соединений, Москва, Мир (1991)

16. Б. Н. Тарасевич. ИК спектры основных классов органических соединений. Справочные материалы, Москва, МГУ (2012)

17. Дж. Бранд, Г. Эглинтон. Applications of Spectroscopy to Organic Chemistry, пер. с англ. М. Ю. Корнилова, В. А. Чуйгука, под ред. Ю. Н. Шейнкера, Москва, Мир (1967) 127—135

18. C. A. M. Mulder, A. A. J. M. Damen. J. Non-Cryst. Solids, 93 (1987) 387—394

19. C. A. M. Mulder. J. Non-Cryst. Solids, 95-96 (1987) 303—310

20. C. L. Frye, W. T. Collins. J. Am. Chem. Soc., 92 (1970) 5586—5588

21. M. Pauthe, J. Phalippou, R. Corriu, D. Leclercq, A. Vioux. J. Non-Cryst. Sol., 113 (1989) 21—30