Preview

Журнал прикладной спектроскопии

Расширенный поиск
Доступ открыт Открытый доступ  Доступ закрыт Только для подписчиков

Оптические и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках

Полный текст:

Аннотация

Представлены результаты эллипсометрических, рентгеноструктурных и спектральных исследований пленок In2O3, полученных методом dc-магнетронного распыления на подложках Al2O3 (012). Интерпретация данных проведена в рамках трехслойной модели пленки. Предположено, что в начале напыления на поверхности подложки формируются крупные частицы материала, затем размер кристаллитов становится меньше и они заполняют промежутки между более крупными частицами, после чего процесс формирования пленки переходит в стационарный режим. На границе раздела между пленкой и подложкой установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1.39 эВ, показателем преломления ~3 и толщиной 25 нм. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления.

Об авторах

А. А. Тихий
Луганский государственный педагогический университет
Украина

Луганск



Е. А. Свиридова
Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Украина

Донецк



Ю. И. Жихарева
Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко
Украина

Киев



И. В. Жихарев
Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Украина

Донецк



Список литературы

1. K. Arshak, K. Twomey. Sensors, 2 (2002) 205-218

2. A. K. Yewale, K. B. Raulkar, A. S. Wadatkar, G. T. Lamdhade. J. Electron Devices, 11 (2011) 544-550

3. D. Мanno, M. Di Giulio, T. Siciliano, E. Filippo, A. Serra. J. Phys. D: Appl. Phys., 34 (2001) 2097-2102

4. Yu. M. Nikolaenko, A. N. Artemov, Yu. В. Medvedev, N. B. Efros, I. V. Zhikharev, I. Yu. Reshidova, A. A. Tikhii, S. V. Kara-Murza. J. Phys. D: Appl. Phys., 49 (2016) 375302(1-7)

5. Xuejian Du, Jing Yu, Xianwu Xiu, Qianqian Sun, Wei Tang, Baoyuan Man. Vacuum, 167 (2019) 1-5

6. S. K. Yadav, S. Das, N. Prasad, B. K. Barick, S. Arora, D. S. Sutar, S. Dhar. J. Vacuum Sci. Technol. A, 38 (2020) 033414

7. M. Nistor, W. Seiler, C. Hebert, E. Matei, J. Perrière. Appl. Surface Sci., 307 (2014) 455-460

8. W. Seiler, M. Nistor, C. Hebert, J. Perrière. Solar Energy Mater. Solar Cell., 116 (2013) 34-42

9. S. Kaneko, H. Torii, M. Soga, K. Akiyama, M. Iwaya, M. Yoshimoto, T. Amazawa. Jpn. J. Appl. Phys., 51 (2012) 01AC02l

10. M. Z. Jarzebski. Phys. Status Solidi (a), 71 (1982) 13-41

11. Ю. М. Николаенко, А. Б. Мухин, В. А. Чайка, В. В. Бурховецкий. ЖТФ, 80 (2010) 115-119

12. А. А. Тихий, Ю. М. Николаенко, Ю. И. Жихарева, И. В. Жихарев. Опт. и спектр., 128 (2020) 1544-1547

13. A. Schleife, M. D. Neumann, N. Esser, Z. Galazka, A. Gottwald, J. Nixdorf, R. Goldhahn, M. Feneberg. New J. Phys., 20 (2018) 053016

14. H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, USA, William Andrew Publishing (2005)

15. N. M. Ravindra, P. Ganapathy, J. Choi. Infrared Phys. Technol., 50 (2007) 21-29


Рецензия

Для цитирования:


Тихий А.А., Свиридова Е.А., Жихарева Ю.И., Жихарев И.В. Оптические и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках. Журнал прикладной спектроскопии. 2021;88(5):743-747.

For citation:


Tikhii A.A., Svyrydova K.A., Zhikhareva Yu.I., Zhikharev I.V. Optical and X-Ray Studies of Indium Oxide Films on Sapphire Substrates. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2021;88(5):743-747. (In Russ.)

Просмотров: 99


ISSN 0514-7506 (Print)