ACCOUNT OF THE MUTUAL INFLUENCE OF ELEMENTS IN THE X-RAY FLUORESCENCE ANALYSIS OF THIN TWO-LAYER Ti/V-SYSTEMS
Abstract
A new XFA procedure of determining the thickness of layers in two-layer Ti/V-systems is proposed. It is based on the application of easy-to-make unified thin-film layers obtained by the method of sputtering titan on a polymer substrate. Correction coefficients are calculated, which permits to take into account the following factors: the absorption of primary radiation of the X-ray tube, the absorption of the analytical line of the element of the bottom layer in the top layer, and the strengthening of the fluorescence intensity of the top layer by the radiation of atoms of the bottom layer.
About the Authors
N. I. Mashin
N. I. Lobachevskii State University of Nizhni Novgorod
Russian Federation
Russian Federation
A. G. Razuvaev
N. I. Lobachevskii State University of Nizhni Novgorod
Russian Federation
Russian Federation
E. A. Cherniaeva
N. I. Lobachevskii State University of Nizhni Novgorod
Russian Federation
Russian Federation
L. M. Gafarova
N. I. Lobachevskii State University of Nizhni Novgorod
Russian Federation
Russian Federation
A. V. Ershov
N. I. Lobachevskii State University of Nizhni Novgorod
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Ю. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15, № 2 (2011) 126-140
2. В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков, Г. М. Туровская. Журн. аналит. химии, 34, № 1 (1979) 138-141
3. B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta. B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130-133
4. P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72-75
5. K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Mannien, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354-359
6. В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 571-577
7. Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И. Машин. Зав. лаб., 56, № 12 (1990) 34-36
8. Е. Е. Беляева, А. В. Ершов, А. И. Машин, Н. И. Машин, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 638-640 [E. E. Belyaeva, A. V. Ershov, A. I. Mashin, N. I. Mashin, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 53 (1998) 561-563]
9. Н. И. Машин, А. Н. Туманова, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 56, № 6 (2001) 651-654 [N. I. Mashin, A. N. Tumanova, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 56 (2001) 581-584]
10. Н. И. Машин, Р. В. Лебедева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 328-332 [N. I. Mashin, R. V. Lebedeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 307-311]
11. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49, № 4 (2013) 372-375
12. K. Hirokava, M. Suzuki, H Gotô. Z. Аnal. Chem., 199, N 2 (1964) 89-94
13. H. Dahl, G. Schulz. Z. Angew. Phys., 29, N 2 (1970) 117-121
14. С. Л. Дудик, Б. Д. Калинин, Р. И. Плотников, С. К. Савельев. Аналитика и контроль, 10, № 3-4 (2006) 282-289
15. В. Я. Борходоев. Аналитика и контроль, 19, № 1 (2015) 40-44
16. Ш. И. Дуймакаев, М. В. Потькало. Аналитика и контроль, 20, № 1 (2016) 23-33
17. Г. А. Бордовский, А. В. Марченко, П. П. Скрегин, Н. Н. Смирнова, Е. И. Теруков. Письма в ЖТФ, 35, № 22 (2009) 15-22
18. M. West, A. T. Ellis, P. J. Potts, C. Streli, C. Vanhoof, P. Wobrauschek. J. Anal. At. Spectrom., 30 (2015) 1874-1877
19. В. Р. Дарашкевич, Н. А. Калинина, Б. А. Малюков, Ю. М. Украинский, С. П. Селиванова. Зав. лаб., 37, № 12 (1971) 1449-1452
20. Ф. Е. Наумцев, В. Ф. Волков, Н. Ф. Лосев. Зав. лаб., 54, № 4 (1988) 30-33
21. Н. И. Машин, А. Г. Разуваев, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 80, № 1 (2013) 5-11 [N. I. Mashin, A. G. Razuvaev, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 80 (2013) 1-7]
22. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, Л. М. Гафарова. Журн. прикл. спектр., 83 (2016) 65-69 [N. I. Mashin, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, L. M. Gafarova. J. Appl. Spectr., 83 (2016) 56-60]
23. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова. Неорг. матер., 51, № 1 (2015) 44-48
24. В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128-129
25. А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84-86
Review
For citations:
Mashin N.I., Razuvaev A.G., Cherniaeva E.A., Gafarova L.M., Ershov A.V. ACCOUNT OF THE MUTUAL INFLUENCE OF ELEMENTS IN THE X-RAY FLUORESCENCE ANALYSIS OF THIN TWO-LAYER Ti/V-SYSTEMS. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2018;85(1):100-107. (In Russ.)
Views: 261
Email this article 