УЧЕТ СЛОЖНОЙ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА РОСТ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК In2O3
Аннотация
Практически показана эффективность привлечения дополнительной информации о величине оптического пропускания при решении обратной задачи эллипсометрии минимизационным методом для допированных и недопированных оловом пленок In2O3 на подложках Al2O3 (012). Этот подход позволяет однозначно определять толщину и показатель преломления тонких пленок с шероховатой поверхностью. Проведено сравнение результатов решения обратной задачи в рамках одно-, двух- и многослойной моделей, при этом последняя позволяет наилучшим образом описать экспериментальные данные и получить корректные параметры образцов. Зависимости свойств исследуемых пленок, полученных при различных режимах магнетронного напыления, найденные с использованием вышеописанных методов и моделей, не противоречат общим представлениям о формировании пленок данного материала.
Ключевые слова
оксид индия,
поверхность,
эллипсометрия,
магнетронное напыление,
indium oxide,
surface,
ellipsometry,
magnetron sputtering
Для цитирования:
Тихий А.А., Николаенко Ю.М., Грицких В.А., Свиридова Е.А., Мурга В.В., Жихарева Ю.И., Жихарев И.В. УЧЕТ СЛОЖНОЙ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА РОСТ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК In2O3. Журнал прикладной спектроскопии. 2018;85(1):161-167.
For citation:
Tikhii A.A., Nikolaenko Yu.M., Gritskih V.A., Svyrydova K.A., Murga V.V., Zhikhareva Yu.I., Zhikharev I.V. ACCOUNT OF THE COMPLEX STRUCTURE OF THE SURFACE IN ELLIPSOMETRIC STUDIES OF THE EFFECT OF MAGNETRON SPUTTERING REGIMES ON THE GROWTH AND OPTICAL PROPERTIES OF In2O3 FILMS. Zhurnal Prikladnoii Spektroskopii. 2018;85(1):161-167. (In Russ.)
Просмотров: 260
Послать статью по эл. почте 