Экспресс-анализ триэтоксисилана и тетраэтоксисилана методом спектроскопии комбинационного рассеяния света для оптимизации технологического процесса синтеза моносилана

Описана методика экспресс-анализа продуктов технологических процессов, разработанная с использованием спектроскопии комбинационного рассеяния света. Анализ спектров комбинационного рассеяния включает в себя расшифровку спектральных полос с учетом характеристических частот колебательных спектров органических соединений, а также определение интегральных интенсивностей в соответствующих спектральных диапазонах. На примере процедуры контроля в реальном времени за протеканием технологического процесса синтеза моносилана осуществлен экспресс-анализ тетраэтоксисилана — побочного продукта данного технологического процесса. Продемонстрированы существенные преимущества экспресс-анализа, обеспечивающие контроль за штатным ходом технологического процесса и получение результатов, позволяющих вносить коррективы в технологическую схему процесса с целью его оптимизации. 

1. В. М. Ротштейн, Х. Б. Ашуров, Р. Х. Ашуров. Uzbek J. Phys., 22, № 5 (2020) 314—324, https://doi.org/10.52304/.v22i5.197

2. В. М. Ротштейн, Х. Б. Ашуров, Р. Х. Ашуров. Журн. прикл. спектр., 88, № 4 (2021) 550—555, https://doi.org/10.1007/s10812-021-01232-1

3. Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Taek Joong Kim, Yong Kim, Kyung Yeol Kim, Deok Yun Kim, Sh. Salikhov, R. Ashurov. A Method for Preparing Monosilane by Using Trialkoxysilane, Patent US9278864 (B2), Pub. Date: March 8, 2016 (2016)

4. Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Kyung Kim, Yong Kim. A Method for Preparing Monosilane, Patent JP 6014771 (B2), Pub. Date: 25.10.2016 (2016)

5. Kh. Ashurov, V. Rotshteyn, Se In Yang, Yong Kim, B. Abdurakhmanov, A. Salimboev. Method for Preparing Trialkoxysilane, Patent EP 2 754 664 (B1), Pub. Date: 28.12.2016, Bulletin 2016/52 (2016)

6. А. Ю. Созин, В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, Т. Г. Сорочкина, А. Д. Буланов, О. Ю. Трошин, А. П. Котков, Н. Д. Гришнова, А. И. Скосырев. Журн. аналит. химии, 75, № 11 (2020) 1040—1048

7. В. Г. Бондалетов, А. А. Троян, Н. О. Кухленкова, Р. Я. Дебердеев. Вестн. Казан. технол. ун-та, 17, № 18 (2014) 21—24

8. В. А. Крылов, О. Ю. Чернова, А. Ю. Созин. Масс-спектрометрия, 4, № 2 (2007) 125—130

9. P. A. Volkov, V. V. Fadeev. Method for Determination of Quantitative Content of Content of Components in Mixture, Patent RU 2352920, Pub. Date: 20.04.2009 (2009)

10. Э. Преч, Ф. Бюльманн, К. Аффольтер. Определение строения органических соединений, Москва, Мир, БИНОМ. Лаборатория знаний (2006)

11. Л. Беллами. Инфракрасные спектры сложных молекул, Москва, Иностр. лит. (1963)

12. Л. Беллами. Новые данные по ИК спектрам сложных молекул, Москва, Мир (1971)

13. К. Накамото. ИК спектры и спектры КР неорганических и координационных соединений, Москва, Мир (1991)

14. Б. Н. Тарасевич. ИК спектры основных классов органических соединений. Справочные материалы, Москва, МГУ (2012)