Preview

Журнал прикладной спектроскопии

Расширенный поиск

Поиск


Сортировать по:     
 
Выпуск Название
 
Том 87, № 4 (2020) МЕХАНИЗМ АДГЕЗИОННОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА С МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИМ КРЕМНИЕМ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, Д. И. Бринкевич, Р. Л. Свердлов, В. С. Просолович, А. Н. Петлицкий
"... -новолачного фоторезиста ФП9120 на кремнии. Установлено, что усиление адгезии резиста к монокристаллическому ..."
 
Том 87, № 6 (2020) Спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
С. Д. Бринкевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, С. Б. Ластовский, А. Н. Петлицкий
"... радиационно-индуцированные эффекты в тонких пленках диазохинон-новолачных фоторезистов на кремнии, облученных ..."
 
Том 90, № 6 (2023) Инфракрасная Фурье-спектроскопия структур фоторезист/кремний, используемых для обратной литографии Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Д. И. Бринкевич, Е. В. Гринюк, С. Д. Бринкевич, В. С. Просолович, В. В. Колос, О. А. Зубова, С. Б. Ластовский
"... фоторезиста (ФР) NFR 016D4, нанесенные на поверхность пластин кремния методом центрифугирования. Установлено ..."
 
1 - 3 из 3 результатов

Советы по поиску:

  • Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
  • Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
  • По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
  • Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
  • Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
  • Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
  • Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
  • Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)